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故障 |
原因 |
排除 |
| 尽管连续运行, 但是 真空度仍有波动 | 压差调节器中的弹簧被污染 | 清洗弹簧 |
| 压差调节器中的弹簧被损坏 | 更换弹簧 | |
| 尽管连续运行, 但是 投加量仍有波动 | 压差调节器中的隔膜被污染 | 清洗隔膜 |
| 压差调节器中的隔膜被损坏 | 更换隔膜 | |
| 比例阀处泄漏 | 比例阀处密封垫圈破损 | 更换垫圈 |
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流量管浮子卡死 |
流量管中被污染 |
清洗流量管 |
| 达不到所希望的流量 | 水射器真空度不足 | 检查水射器, 参阅水射器手册 |
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伺服马达(可选) 没达到 100 % 的位置 |
调节 伺服 马达 的电 位计， 检查电子元件的设定 | |
| 压差调节器和水射器间 真空管有泄漏 | 排除泄漏 | |
| 压差调节器和注射器间 真空管太长 | “ 建议 管道 长度 和 直 径 ” |
| 故障 | 原因 | 排除 |
| 真空调节器和气体投加系统 间真空管太长 | 建议 管道 长度 和 直 径 | |
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真空调节器输入压力太低 |
如有 必要 ， 加大 气体 供应 或者清洁过滤器 |
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| V 型槽的调节通道被污染 | 清洗 V 型槽 | |
| 尽管 显示 气体 流量 正确， 气体期望溶解浓度不能达到 | 真空调节器和气体调节系统 间真空管有泄漏 | 排 除 泄 漏 |
| 伺服马达不动作 | 伺服马达被切换到手动状态 | 切换伺服马达到自动状态 |
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伺服马达行程太短 |
伺服马达相关电子元件调节错误 |
调节伺服马达相关电子元 件 ， 检 查 电 子元件设置 |
| 伺服马达动作错误 | 伺服马达相关电子元件调节错误 | 调节伺服马达相关电 子元件， 检查电子元件设置 |
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